粒子計數器可以用于測量潔凈環(huán)境單位體積空氣內定的塵埃粒子大小及數目，它是顯微鏡發(fā)展而來，經歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計數器、激光空氣粒子計數器、PCS納米激光空氣粒子計數器的過程，

　　粒子計數可采用激光粒子計數器或凝聚核粒子計數器。粒子計數器，可分析氣體中011μm粒徑的顆粒雜質;可分析0105μm粒徑顆粒雜質，目前已有可檢測超高純氣中01005μm的粒子計數器。粒計數器是一種利用光的散射原理進行塵粒計數的儀器。一定流量的含塵氣體通過一束強光，使粒子發(fā)射出散射光，經過聚光透鏡投射到光電倍增管上，將光脈沖變?yōu)殡娒}沖，由脈沖數求得顆粒數。根據粒子散射光的強度與粒徑的函數關系得出粒子直徑。粒子計數器是高純或超高純供氣系統中必不可缺的儀器。價格較昂貴。

　　塵埃粒子計數器的注意事項：

   　1、沒有高壓減壓設備(如高壓擴散器)不要取樣壓縮空氣，所有的粒子計數器被設計用于在一個大氣壓下操作。

　　2、當入口管被蓋住或被堵塞，不要啟動計數儀

　　3、不要測有可能產生反應的混合氣體(如氫氣和氧氣)。這此氣體也可能在計數器內產生爆炸。測這些氣體需與廠家聯系為取得更多的信息。