萬級凈化車間系統維護保養管理
如何進入萬級凈化車間？
1、 任何進入萬級凈化車間的人，必須先進入無塵更衣室，穿上無塵帽、無塵口罩、無塵衣、靜電防塵手套、無塵褲、無塵靴（如圖①所示）。經過這套外形很“酷”的防塵裝備可將人們身上已有的灰塵隔離在萬級凈化車間之外，但這才是第一步。
2、 接著就要進入風淋室。所謂風淋室是指一條“吹風的長廊”，不過在這條長廊中吹出來的強風是沒有任何靜電存在的離子風。這種離子風所具有的中和能力可以將人身上的正負電荷中和，而且依靠靜電黏附在毛發、衣服上的灰塵也會自動脫落并粘在地板上的藍色洗塵墊上（如圖②所示）。
3、 走過風淋室后，就進入萬級凈化車間了。如果萬級凈化車間生產的產品要防靜電，則還要經過“靜電橋”徹底地消除身上的靜電。若進入百級潔凈室還重復2、3步驟動作。
什么是無塵概念？
按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。
如表1所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。
萬級凈化車間安裝內系統除了通稱的空調系統之外，制程設備也包括在內，本節將對該二系統之運轉維護及保養做一概略說明。
萬級凈化車間安裝內之生產制造設備注意之重點有三：
1.生產設備之選擇、布置與保養：
a.要選用發塵性較少的生產設備及相關設備，尤其須注意活動部分之發塵。
b.應選擇塵埃之影響較小的生產設備或接口設備。
c.生產用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應配備過濾裝置。
d.規劃各設備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結構，規劃各并以容易清潔為原則。
e.真空泵等容易產生污染物的這類設備，應設置在萬級凈化車間安裝外面或回風區，并加裝排氣管線排氣。
f.設置給水管線、氣體管線和電氣系統時，其構造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。
g.生產及相關設備應定期清掃，以避免微塵之堆積。
h.應加強注意室內的溫濕度控制，避免因濕度之不當造成結露生銹。
i.當設備維修時易產生微塵粒子，故維修時盡量于清潔室外進行，并加隔離柵隔離。
j.對于施工或維修之廠商，應告知進出萬級凈化車間安裝之各項規定，且負責工程師應隨侍在側監工。
k.應有萬級凈化車間安裝專用工具組，但不得帶出萬級凈化車間安裝外使用。
l.規劃空間時若能臨近萬級凈化車間安裝設立一間維修和設備保養手冊置放室，將是一理想之規劃。
2.生產設備之防塵措施：
a.磨損、切削均為發生微塵之原因，故需將發塵部分掩蓋之。
b.易產生塵埃之設備，若能的話應布置于風尾地點。
c.在操作時，盡量減少接觸零件或產品。
d.不得有太大或不必要的操作動作，以免卷起附近之灰塵。
e.各項廠務設施之供應如水、氣體和化學品于進入生產設備前應有過濾設備。
f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應有旁路閥之設置。
3.自動化與無塵化：
a.設立自動化傳送系統，可減少人員方面所帶來的污染，唯費用相當昂貴，須詳加評估。
b.建立管制項目如進入萬級凈化車間安裝人員的資格限定，萬級凈化車間安裝作業人員作業規則，萬級凈化車間安裝管理規則等，這些規則已在前面章節敘述，此處不再說明。
在萬級凈化車間安裝之維護管理方面，可分三部分加以說明：
1.建筑物之維護管理：
a.建筑物內定期檢查清潔。
b.地板之清掃管理及損壞更新。
c.隔間墻及天花板檢查清潔和封補。
d.窗戶及門之保養等。
2.環境測定與管理：
萬級凈化車間安裝內之運轉環境狀況如溫、濕度及微塵粒子數應每日定期量測，以確實掌握質量，若有數據異常，可立即做緊急處理。
3.防塵空調設備之維護管理：
a.溫、濕度及塵埃濃度管理，在前面以述及，唯其量測儀器應做定期校正檢驗，若有設備移動或施工時須做局部測量。
潔凈室內禁止吃喝，禁止咀嚼口香糖或糖果。
不能把潔凈服提來提去，人員不能觸摸或翻動潔凈服。否則手或者手套污染潔凈服的危險會很大。即使搬動潔凈服，也會使服裝內收信到的粒子散播到周圍的環境中。
要避免一切不必要的活動。增加身體的活動會增加體表散發的粒子。人員不必要的活動會使周圍空氣形成渦流。建議以慢動作進行生產活動。
人員衛生
高度潔凈環境中工作人員衛生的重要性，是怎么強調也不為過的。可是有關人員衛生的各種規定與建議，并不是總能被很好的理解，盡管有些是非常基本的規則。與污染擴散最直接相關的是材料和部件的搬運等，因此，必須經常洗手。特別是咳嗽、打噴嚏、上廁所、吸煙（包括使用鼻煙）之后，以及休息后返回工作之前，都要洗手。手在接觸受污染的材料和動物后，也應當徹底清洗。根據具體的潔凈要求，在有些情況下，使用電話和計算機后也要洗手。這都是好的做法。
對藥品生產質量管理規范相關人員的衛生要求，可總結如下：
每一個人員應對自己個人的清潔衛生負責。
b.過濾網之管理：定期檢查及更換，表6為各種過濾網之檢查及更換周期。
c.空氣調節器管理：定期檢查隔板接縫及內部污染狀況，冷熱盤管是否有腐蝕現象。
d.送風機之管理：定期檢查送風機運轉狀況。如表7所示為送風機之各項檢查內容及周期。
e.風管及出風口之管理：檢查風管是否有腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等。
f.測試及量測儀器管理：定期校正及保養。
g.室內壓力管理：連續監視室內壓力記錄，以維持正壓為基準。
h.冷凍主機、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之管理：定期檢查保養及記錄運轉狀況及水質變化分析，以調整加藥量等。
i.萬級凈化車間安裝停止運轉再開機要點管理：啟動后立即進行微塵粒子之測試，須萬級凈化車間安裝恢復穩定正常時再開始作業。
萬級凈化車間安裝內用品的管理
萬級凈化車間安裝內用品除了進出萬級凈化車間安裝用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、吸塵器等。
潔凈衣之材料以洗后或使用其它處理后仍不會發塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料之組織不易通過污染物和不附著污染物之材質，另外經過磨擦不產生靜電或帶電性非常小，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質為無塵紙或無紡布制成，帽子材質則與潔凈衣相同，二者在穿戴使用時，除了只露出眼睛和臉表面部分外，其它部分均需包覆，在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住，不能留有空隙，頭發亦不能露出來。萬級凈化車間安裝用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑料底，布質部分則采用與潔凈服相同材質即可，鞋子穿著時潔凈衣腳跟部分應完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂（Viny1），在使用過程中若有不舒適感或妨礙手指觸感者則停止使用，手套表面有粉質時須去除或停用，原則上不使用有粉之Viny1手套為佳。
潔凈衣鞋帽子等須由專人管理，并定期做清洗，清洗須在萬級凈化車間安裝內進行。并以純水配合清潔溶劑，并經約0.2μm之過濾器為之。一般洗滌周期視潔凈度等級而定，在高潔凈區（CLASS1）為2~3天，其它區域則為五天至一星期，洗滌完畢干燥后應立即密封。潔凈衣之置放場所亦須為萬級凈化車間安裝，備用品或新品存放柜內，正使用者則吊掛衣架上，以方便取用。
桌椅一般以不銹鋼材質，并需表面加工處理為之，若不得不使用鍍鋅品或木制品，其表面須施環氧樹脂（Epxoy）加工以防表面發塵。工作桌最好有打洞，邊緣有倒角。以利氣流之運動。椅子盡量采用沒有背及腳踏板者，椅腳高度以坐下來腳可以觸到地板者為原則。但若一定須使用高腳椅時，則要準備腳踏環。桌及椅子之腳最好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套。
芯片盒為放置芯片之用，材質以選取擇不易摩損、不發塵易清潔之材質如鐵弗（Teflon）等，至于搬運車則以構造簡單為原則，并忌使用折迭式，材質仍采用不銹鋼為宜，車輪為耐磨性高之橡膠輪胎，車輪軸承采用雙密封式滾珠軸承。推送搬運車時不得急速運推而以緩行為適。筆記本之紙質應采用無塵紙制成者，且不得使用影印數據，若非萬不得已須使用，則須將文件放在透明之塑料套內或加覆背，同時不可于室內撕破或將紙揉成一團，避免造成環境之污染。如表5所示為不同紙張材質發塵量之比較。普通黑板及粉筆當然不能在高萬級凈化車間安裝內使用，必要時可在更衣室等萬級凈化車間安裝較低等級的區域使用白板。萬級凈化車間安裝內不得放置清潔用具，垃圾桶宜使用塑料制品或不銹鋼，且置于維修區中的固定位置，桶須覆以蓋子，以利管制，并定期清理。
真空吸塵器，其功能是在吸取萬級凈化車間安裝內地板上、下及設備上附著之塵粒或液體以防止這些塵粒之再飛揚，以達到清潔的目的，由于真空吸塵器在作業時會有排氣產生，若未經處理，將嚴重影響萬級凈化車間安裝之潔凈度和氣流，因而真空吸塵器在排氣口均裝有HEPA過濾器，以除去塵埃。唯現今之高級萬級凈化車間安裝均設有中央式吸塵系統，并于現場預留吸塵口，故一般之清潔過程均利用此中央系統，以減少使用真空吸塵器時的氣流干擾,在使用中央式系統時，須注意排氣旦之控制避免使萬級凈化車間安裝內之壓力降低至規定范圍以下。至于真空吸塵器因屬萬級凈化車間安裝內專用，故不可移至室外使用，若不用時應置于較低等級的萬級凈化車間安裝中，旦每次使用后應清掃吸管、收塵箱等吸氣系統。