潔凈室規劃范圍極廣，需建筑、水電、空調、環保、防震、制造等各方面進行規劃。為了避免失誤，潔凈室規劃，事先確認下列事項：
1.潔凈室潔凈等級。
2.潔凈室壓之平衡措施。
3.潔凈室溫濕度要求。
4.潔凈室里凈化設備器械的必要性。
5.確定潔凈室生產流程。
6.潔凈室局部區域排氣的必要性。
7.要考慮到潔凈室日后擴充彈性。
8.潔凈室要預留足夠維護保養空間。
9.確定潔凈室凈化空調送風方式。
10.員工工作區、生活區在潔凈室里要合理安排。
11.凈化設施與動力的配置。
12.潔凈室內凈高與樓板載重。
13.凈化設備空間與管道間要協調。
14.潔凈室門窗宜少，氣密性要佳。
15.在潔凈室靜電、振動及噪音嚴格控制。
16.潔凈室里最好不出現生產線與活動線交叉。
17.做好防公害、污染與防災。
18.潔凈室的安裝及運轉成本。
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