集成電路正在從大規模集成電路(LSI)發展到集成度更高的超大規模集成電路(超 LSI)上來,塵埃問題是這些半導體制造工廠的最大問題之一。在超 LSI 的制造過程中,提出了以 0.1 微米塵埃為對象的要求潔凈度更高的潔凈室。為適應這種要求,近年來研制了對 0.1~
0.17 微米塵埃具有99.99%以上捕集效率的高效空氣過濾器和0.1 微米垂直層流 10 級模型潔凈室。
0.1 微米的塵埃粒子計數器對儀器的精準度要求極高,國產的檢測儀器很難達到要求,而進口的儀器價格昂貴,維護成本較高,還需要專業的人員來檢測和日常的保養。億天凈化為您提供美國原裝進口的 0.1 微米的塵埃粒子計數器——TSI 9110 的租賃服務,用低廉的價格來獲得高品質且原本十分昂貴的測試儀器。大大降低您的資金預算,免除日常維護、計量、校正的工作及費用,是您減輕投資、降低投資成本及風險的最佳途徑。
TSI 公司 9110 型便攜式粒子計數器可精確測量到 0.100 微米的粒子。它所使用的氦氖激光技術可以極大程度提高信噪比。9110 型完全遵從 ISO-14644-1 標準,是驗證一級和二級潔凈房間的最佳選擇。這款儀器可應用在潔凈房間的監測,過程監控和過濾膜測試。
9110 型激光粒子計數器嚴格遵從 ISO 21501-4 協議。它通過標準的粒子測量方法來進行校驗,即用來自美國國家標準及技術研究所
的 PSL 小球通過 TSI 一流的篩分器和凝聚核粒子計數器校準。
TSI 9110 特性和優點
+ 精確測量 100 納米粒子
+ 粒徑范圍為 0.100 至 10 µm
+ 最多可同時測量八個通道數據
+ 流量為 28.3 升 / 分鐘 (1CFM)
+ 完全遵從 ISO 21501-4 要求
+ 是測量 1 級和 2 級潔凈房間的最佳選擇+ 使用增強的氦氖激光器
+ 高度可重復和可靠的測量 / 數據
+ 10000 個數據存儲量,999 個位置+ 以太網,USB 和脈沖輸出
+ 工業聲光警報
+ 允許儲存和取消指定的菜單和配置
+ 最高顯示三種環境參數
+ 不銹鋼配件
+ 與 M32-01 Manifold 多點采樣完美連接+ 可進行符合 ISO
一級標準潔凈房間的驗證
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深圳市億天凈化技術有限公司成立于 2005 年,一直致力于受控空氣環境和液體環境品質的發展。我們不僅是一個優秀的儀器代理商和授權技術維修中心,同時更是一個出色的系統集成商,提供有線
/無線塵埃粒子/浮游菌等實時自動監測系統、粒子可視化檢測系統、有線/無線粉塵濃度實時自動監測系統、VOC 實時自動監測系統、AMC 實時自動監測系統等。主要服務于電子面板、半導體、生物制藥、動物實驗室、醫療、食品、科研院校、第三方檢測機構、商業建筑環境等各大行業,提供環境監測系統整體解決方案。