一、光源

光源是塵埃粒子計數(shù)器的關鍵部件，對儀器的性能影響很大。光源要求穩(wěn)定性高、壽命長、不受干擾。

光源有普通光源和激光光源兩種。普通光源為碘鎢燈，體積大、發(fā)熱量高、壽命短，開機后需要預熱。激光光源為激光器，體積小、穩(wěn)定性高、壽命長，常與檢測腔及光檢測器做成一體，組成傳感器。常見的激光光源有HeNe激光器、激光二極管。

采用普通光源的塵埃粒子計數(shù)器對0.3cm以下的微粒信號響應很低，其信號幅度與計數(shù)器本身的噪聲幅度相差無幾，信號很難從噪聲中檢測出來。此類儀器雖然標有0.3Km這一通道，但只適于測定大于0.3pm特別是0.5Lm以上的微粒。

由于激光的單色性好，光能量集中穩(wěn)定，所以采用激光光源的塵埃粒子計數(shù)器其傳感器有較高的信噪比，此類儀器有些能檢測到0.1CM的微粒。

二、測量腔

測量腔是進行微粒觀測的空間，被采集的空氣要從測量腔內(nèi)穿過。儀器的光學系統(tǒng)使光源經(jīng)透鏡、狹縫照射到測量腔中，形成一個體積約幾個立方毫米的光敏感區(qū)。當空氣中的塵埃通過光敏感區(qū)時，會散射出一部分光能量，被與入射光成一角度的集光透鏡收集，再投射到光檢測器上。

三、光檢測器

光檢測器是將散射光能量轉(zhuǎn)換為電信號的光電轉(zhuǎn)換器件。塵埃粒子計數(shù)器中最常用的光檢測器是光電倍增管和光電二極管。

光電倍增管把光電子放大幾萬倍后轉(zhuǎn)換成幾個毫伏到幾十毫伏的電信號，光譜具有線性好、響應時間快、暗電流小的優(yōu)點，缺點是體積大。光電倍增管工作時需加上幾百伏特的負高壓，儀器中有相應的高壓產(chǎn)生電路，在對儀器進行調(diào)試或校準時應注意安全。

光電二極管是一種受到光照后能產(chǎn)生電子的半導體元件，具有體積小、外圍電路簡單的特點，常與檢測腔做成一體。

四、流量監(jiān)控器

目前國產(chǎn)塵埃粒子計數(shù)器常采用轉(zhuǎn)子流量計作流量指示，儀器的流量調(diào)節(jié)大多數(shù)是直接調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)子流量計上的旋鈕，此時儀器的控制電路對流量是沒有監(jiān)控的。進口塵埃粒子計數(shù)器通過流量傳感器對流量進行監(jiān)測，通過手動調(diào)節(jié)或自動反饋調(diào)節(jié)。

塵埃粒子計數(shù)器的采樣流量一般為2.83L/min或28.3L/min(進口儀器常以“立方英尺每分”為單位，標記為0.1cfm或1cfm)，主要是為了便于進行符合Fed-Std-209E的潔凈度的計算。

大流量的采樣(28.3L/min)更能準確地反映空氣的潔凈狀況，但使最大采樣濃度降低。

五、氣泵及過濾器

氣泵位于儀器內(nèi)部，使儀器產(chǎn)生采樣流量。氣泵要求噪音低、振動小、產(chǎn)生的氣流穩(wěn)定。過濾器應能過濾掉0.3ftm以上的微粒，以免從儀器排出的空氣對潔凈區(qū)產(chǎn)生影響。

六、電路系統(tǒng)

不同粒徑大小的粒子經(jīng)塵埃粒子計數(shù)器的光電系統(tǒng)轉(zhuǎn)換后，會產(chǎn)生不同幅度(電壓)的電脈沖信號，粒徑越大，脈沖電壓越高。信號電壓與粒徑之間的關系，也叫轉(zhuǎn)換靈敏度。對于給定的塵埃粒子計數(shù)器，粒徑大小與脈沖電壓是一一對應的，例如某臺塵埃粒子計數(shù)器的轉(zhuǎn)換靈敏度為0.3tm對應69mV，0.5tLm對應531mV，1.01im對應701mV等，若塵埃粒子計數(shù)器檢測到一個脈沖為100mv，則這個粒子的大小肯定大于0.3fm而小于0.5rLmo

塵埃粒子計數(shù)器是測量大于等于某一粒徑的粒子數(shù)量的儀器，其內(nèi)部電路就是統(tǒng)計大于等于某一電壓值的脈沖數(shù)量的電路。對于上段中的例子，測量空氣中大于等于0.31m粒子的數(shù)量，在電路中就是統(tǒng)計大于等于69mV的脈沖的個數(shù)，測量大于等于0.5tr.m粒子的數(shù)量，在電路中就是統(tǒng)計大于等于531mV的脈沖的個數(shù)，依此類推。所以儀器對塵埃粒子的測量，主要靠轉(zhuǎn)換靈敏度這個參數(shù)。

(本文來源 / 激光塵埃粒子計數(shù)器)